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本文標(biāo)題:電子顯微鏡掃描電鏡的結(jié)構(gòu)和工作原理

信息分類:站內(nèi)新聞　新聞來(lái)源：未知發(fā)布時(shí)間：2014-5-6 16:46:25

電子顯微鏡掃描電鏡的結(jié)構(gòu)和工作原理

電子顯微鏡掃描電鏡的鏡筒包括電子槍、聚光鏡、物鏡及掃描系統(tǒng)

。其作用是產(chǎn)生很細(xì)的電子束，并且使該電子束在樣品表面掃描，

同時(shí)激發(fā)出各種信號(hào)。

電子顯微鏡電子信號(hào)的收集與處理系統(tǒng)在樣品室中，掃描電子束與

樣品發(fā)生相互作用后產(chǎn)生多種信號(hào)，其中包括二次電子、背散射電

子、射線、吸收電子、電子等。

電子顯微鏡在上述信號(hào)中，最主要的是二次電子，它是被入射電子

所激發(fā)出來(lái)的樣品原子中的外層電子，產(chǎn)生于樣品表面以下區(qū)域，

其產(chǎn)生率主要取決于樣品的形貌和成分。

電子顯微鏡通常所說(shuō)的掃描電鏡像指的就是二次電子像，它是研究

樣品表面形貌的最有用的電子信號(hào)。

電子顯微鏡檢測(cè)二次電子的檢測(cè)器的探頭是一個(gè)閃爍體，當(dāng)電子打

到閃爍體上時(shí)產(chǎn)生光，這種光傳增管信號(hào)轉(zhuǎn)變信號(hào)，再放大信號(hào)轉(zhuǎn)

變成電壓最后被送柵極。